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（原标题：EUV光刻，被忽略的坚苦） 要是您但愿不错时常碰面，迎接标星保藏哦~ 起头：本色来自semiwiki，谢谢。 重心追念： 跟着间距尺寸的减小，EUV 光刻靠近着电子拖沓、立时性和偏振的挑战。 电子拖沓导致的对比度损走嘴为 50%，显耀影响立时波动。 偏振效应正日益成为一个令东说念主担忧的问题，导致图像质地下落。 跟着间距的不休好像，电子拖沓、立时性和当前的偏振，王人在 EUV 光刻中产生越来越强的影响。 跟着 EUV 光刻时代的不休发展，策动是越来越小的间距，新的物理限度不休浮现，成